一、自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计 产品特点：

-- 测量范围从10Pa 到 20MPA（绝压和表压皆可）。

-- 精确度高、重复性好，分为前压控制和背压控制两种。

-- 标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板，提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。

该基本数字PC具有测量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配备标准的RS485输出信号，还提供模拟I/O信号。

-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀，具有超快和平稳控制的特性。

我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀，高流速应用使用先导阀。

二、应用领域：

-- 半导体工艺，气相和液相色谱仪，MOCVD过程中蒸汽压力控制，挤塑成型过程中气体压力保护控制，高压釜/反应釜压力控制等。

三、自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计 产品参数：（如所需参数与下述列举不同，请另行沟通咨询）