一、ACU20FD 高精度气体质量流量控制器MFC及流量计MFM 产品概述：

◆精度更高，响应更快，带网口；
◆管状分流，不易堵塞；
◆适用于各种低压和高压管道；
◆预热时间短，零漂小，可靠性高；
◆模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量；

◆数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选；

二、产品应用：

真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金

环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统

三、ACU20FD 高精度气体质量流量控制器MFC及流量计MFM 产品参数：  

满量程范围：2SCCM～6000SLM

准 确  度：±0.5%F.S
线       性：±0.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：流量计：＜0.1s；流量控制器：<0.2s
数 字  量：RS232/485，MODBUS等协议
模 拟  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       电：±15VDC，24VDC，220V（转接）
工作温度：0～60℃
工作压降：<0.01Mpa（流量计）
工作压差：0.002~0.5Mpa （流量控制器）
耐       压：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
温度系数：±0.025%F.S/℃
底座材质：不锈钢
密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等
接       头：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法兰、快插、宝塔等。。。

如果所需性能要求与上述性能不同，请沟通定制。