大流量氢气质量流量计可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。

 

　　大流量氢气质量流量计的安装注意事项：

　　安装要求：

　　大流量氢气质量流量计安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作，流体流向必须与传感器表体上的流向箭头保持一致，传感器两边的法兰必须保持平行，否则容易泄漏，流量计的电极输线必须近似水平，否则影响测量精度，传感器测量管在使用中被测介质必须保持满管状态，尽量避开铁磁性物体及具有强电磁场的设备，如大型电极、大变压器等，以避免外界磁场影响传感器的工作磁场和流量信号。

　　安装环境要求：

　　避免环境温度高于60℃及相对湿度大于95%，为避免在安装后形成漩涡流动，应保证工艺配管、密封件、流量计同轴连接不能错开，选择活动空间较大的管段安装，便于后期的维修，调节阀应安装在传感器的下游5D以外处，若必须安装，需安装在传感器上游，并保证传感器上游直管段不小于50D，流量传感器虽然结构坚固，但从测量原理而言在选择安装场所时，应尽量避，免机械振动或碰撞冲击，如果安装在振动较大的管道上，则需安装管道支撑进行缓冲。