大部分的质量流量计，流量控制器的耐压程度在3Mpa或10Mpa左右，但是在一些应用中需要更高的压力，例如一些高压缩气体，高反应釜。。。经过我们多年的经验及开发测试，目前，气体质量流量计、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐压性能。具体参数如下：

量程范围：2SCCM～100SLM

测控范围：控制器阀控范围50:1（流量计量程比100:1） 

准确度： ±0.5%F.S（满量程）

线性： ±0.25%F.S

重复精度： ±0.2%F.S

响应时间： <0.2s <0.1s

温度系数： ±0.025%F.S/℃

工作温度： 0～50℃

预热时间： 30S可用，5Min达到最佳状态

工作压力： 工作压差：0.1~0.5Mpa(高压差可定制） 工作压降：<0.01Mpa

最大耐压： 20MPa~60Mpa

漏率：1 x 10 Pa m3/S

底座材质：不锈钢

接头： φ8，φ10，φ12，卡套或法兰安装

密封材质： 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，金属密封

外壳防护等级： IP40

安装位置： 水平安装

电气连接： DB9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插

显示状态： 带液晶显示、不带液晶显示

数字量： RS232/485，MODBUS协议，PROFIBUS协议

模拟量： 0～5V、4-20mA、1～5V

供电： 24VDC、±15VDC