流量显示仪用于为气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。
单通道流量显示仪 多通道流量显示仪
目前市场上常见的流量显示仪一般采用塑料机壳,体积较小,便于安装。流量输入输出信号,一般是标准的 0~+5V 电压信号或4~20mA的电流信号。
有些流量显示仪带有流量设定和阀控功能,也叫流量显示控制仪,这种显示仪可与工作电源为±15V 的 或24V的MFC(或MFM)配套使用。
1、 基准源和流量的设定
以0~5V的电压模拟信号为例,在显示仪中设计有+5.00V 基准电源,它加载到设定电位器上,通过操作者手动调节面板上的设定电位器,提供 0~5.00V 的设定电压输出给MFC,用来控制 MFC 的流量。该电源设计有开机软启动电路,当显示仪接通电源时,基准源缓慢从 0V 升至+5.00V.。
2、数字显示器
显示器用来显示流量,流量显示的单位有“SCCM"、“SLM"、“%"三种。通常,流量显示仪与 MFC(或 MFM)配套出厂时,将显示器显示的量值和单位与其对应的 MFC(或 MFM)通道的量值和单位调整成一致。如果用户订货时没有注明 MFC(或 MFM)的流量规格,则出厂调整为按满量程的百分比显示,它与任何规格的 MFC(或 MFM)配合使用时,满量程均显示“100.0%"。在流量显示仪的面板上,设计有流量单位指示灯,SCCM 或 SLM,如果两个均不亮,则表示单位为%。
3、阀控开关
带流量调节、流量控制功能的流量显示仪会带有“阀控"开关。阀控开关有三个位置,正常工作时置于“阀控"位,需要通气吹洗管路时,可选择“清洗"位,停止使用时应置于“关闭"位。
4、调零电位器
面板上设计有外“调零"电位器,可以用来在小范围内调整MFC(或MFM)产品的零点。
5、多通道流量显示仪
可以一台显示仪同时接3、4台 质量流量控制器MFC 或 质量流量计MFM。