质量流量控制器(MFC)在控制气体流量时,由于需要通过控制流量控制阀的开度实现流量控制,所以需要满足一定的压差条件(即其进气端压力要比出气端压力大一定的数值),需要控制的流量越大,需要流量控制阀的开度就越大,这个压差值就需要越大(即当其出口端压力接近大气压时,需要通过的流量控制器(MFC)的流量越大,那么就需要其进气压力就越大)。
在一些应用场景中,流量控制器(MFC)的出气端会有一定的阻力(背压),为了使流量控制器(MFC)能正常工作,那么就需要使其进气端压力更高些,即保持一定的压力差。
一般情况下,这种压力差基本上会小于1Mpa,流量越小,所需的压力差就越小,例如最大流量只有20升每分钟时,所需的压力差只需要0.1Mpa(即100Kpa)或者50kpa就足够了。大部分流量控制器(MFC)生产制造商,都会使其产品在一个相对合理的压差范围内工作。
但是,有些比较特殊的应用,会需要很大的压差,压力差大于1Mpa,达到3Mpa、5Mpa甚至更高。这就需要一定的技术方案,特殊定制阀体性能,并且需要模拟实际压力情况进行标定,当然,首先要保证这种流量控制器的耐高压性能(在质量流量计行业,一般把大于3Mpa的压力记为高压)。
我司产品已经具备高压差控制流量的性能,可以满足高压差的应用,并且在压差大幅度变化时也可以精确,稳定的控制气体流量。