质量流量为计量单位的流量计及控制器（简称为MFM，MFC）的主要特性是其测量结果大部分与流体的质量相关，而受基本不受其它物理特性的影响，因此具有较高的准确度（精度）。

如何判断一台质量流量计或流量控制器的性能是否优越，会涉及很多方面的性能判断：精度（准确度）、重复性、线性度、稳定性、漏率 等等。。。 。。。对于不同的应用，判断的依据或性能要求本身就会有很大区别。由于质量流量计及流量控制器的造价相对高一些，所以精度（准确度）及稳定运行的可靠性对于任何应用来说都是最基础的性能要求。

对于高精密仪器及设备来说，质量流量计或流量控制器的精度非常重要，因为这有可能直接关系到仪器或设备自身的精准度或分辨率；除此之外，还要具有很好的重复性、线性度：就是同一台流量计或流量控制器的多次、相同流量供给的测量或控制结果，得到的流量数值结果要接近于一致；而对于不同流量供给的测量或控制结果，其偏差值要有很好的线性比例关系）；

此外，有些应用场景还需要质量流量计或流量控制器有非常好的一致性，就是同一型号的流量计或流量控制器，虽然编号不同，但其测量结果要非常接近一致。

以及耐腐蚀性、防护等级、防爆要求等，由于不同的使用工况也会有不同的要求；对于一些软件性能，比如通讯协议，不同的设备也会有特殊的要求。

当然，一些比较简单的，要求不是很高的应用，只要能保证比较好的精度或者能保证出厂时提供的自身性能，即可以满足要求。

总之，除了一些性能随着不同使用工况会有不同的要求之外，一台质量较高的质量流量计或流量控制器的最重要的基础性能要求，就是要保证较好的、稳定的精度及稳定运行的可靠性。